دانلود کتاب Lithography Process Control
کتاب کنترل فرآیند لیتوگرافی نسخه زبان اصلی
دانلود کتاب کنترل فرآیند لیتوگرافی بعد از پرداخت مقدور خواهد بود
توضیحات کتاب در بخش جزئیات آمده است و می توانید موارد را مشاهده فرمایید
توضیحاتی در مورد کتاب Lithography Process Control
نام کتاب : Lithography Process Control
عنوان ترجمه شده به فارسی : کنترل فرآیند لیتوگرافی
سری : SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT28
نویسندگان : Harry J. Levinson
ناشر : SPIE Publications
سال نشر : 1999
تعداد صفحات : 198
ISBN (شابک) : 0819430528 , 9780819430526
زبان کتاب : English
فرمت کتاب : pdf
حجم کتاب : 13 مگابایت
بعد از تکمیل فرایند پرداخت لینک دانلود کتاب ارائه خواهد شد. درصورت ثبت نام و ورود به حساب کاربری خود قادر خواهید بود لیست کتاب های خریداری شده را مشاهده فرمایید.
توضیحاتی در مورد کتاب :
کنترل فرآیند لیتوگرافی را در چندین سطح، از موضوعات اساسی تا پیشرفته پوشش می دهد. خودآموز هم به عنوان مقدمه ای بر فناوری و هم به عنوان مرجعی برای لیتوگراف با تجربه عمل می کند. مبانی کنترل فرآیند آماری را به عنوان پیش زمینه موضوعات پیشرفته مانند فرآیندهای پیچیده و بازخورد بررسی می کند.
مطالب
- پیشگفتار
- مقدمه ای بر استفاده از کنترل فرآیند آماری در لیتوگرافی< br> - نمونه برداری
- فرآیندهای ساده و پیچیده
- کنترل پهنای خط
- همپوشانی
- بازده
- رانش فرآیند و کنترل خودکار فرآیند
- مترولوژی
- کنترل عملیات
فهرست مطالب :
TT28_frontmatter......Page 1
TT28_ch1......Page 11
TT28_ch2......Page 36
TT28_ch3......Page 51
TT28_ch4......Page 64
TT28_ch5......Page 94
TT28_ch6......Page 126
TT28_ch7......Page 138
TT28_ch8......Page 148
TT28_ch9......Page 167
TT28_backmatter......Page 175
توضیحاتی در مورد کتاب به زبان اصلی :
Covers lithography process control at several levels, from fundamental through advanced topics. Self-contained tutorial works both as an introduction to the technology and as a reference for the experienced lithographer. Reviews the foundations of statistical process control as background for advanced topics such as complex processes and feedback.
Contents
- Preface
- Introduction to the use of statistical process control in lithography
- Sampling
- Simple and complex processes
- Linewidth control
- Overlay
- Yield
- Process drift and automatic process control
- Metrology
- Control of operations
پست ها تصادفی